電気炉の設計・製造・販売・総合メンテナンス及び真空設備

株式会社リアルステージ

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[標準炉]超小型高温高真空炉

装置特徴

炉材は、タングステンやモリブデン等の金属材料で構成されます。セラミックファイバー等の断熱材を一切使用しないため、一定の真空度までの到達時間や降温スピードが極端に短縮され、大幅な工数低減と生産性アップが可能となります。

昇温速度は、２０分以内で１７００℃まで昇温可能です。降温速度も、１７００℃より４０分以内で１００℃以下まで下げることが可能です。（いずれもRSA1800-050ST、空炉、真空の場合）

上記構造により、吸着ガスが極めて少ないクリーンな状態で熱処理加工が行なわれ、非常に純度が高く高品質な製品が生産できます。

真空チャンバーは、水冷ジャケット構造です。安全性確保および各シール材の保護も十分考慮した設計です。

装置全体をボックスパッケージタイプとし、設置スペースを最小限に抑えることが出来ます。

基本性能

最高温度	1800℃(Ａｒ、Ｎ2、Ｖａ)、1600℃(Ｈ２)
到達真空度	x 10^-3Pa（x 10^-5Pa）
炉内雰囲気	真空、不活性ガス、水素ガス等（一部オプション使用）
雰囲気圧力	0.07ｋｇ/ｃｍ²
真空ポンプ	ディフュージョンポンプ(ターボ分子ポンプ)、ロータリーポンプ
真空計	ピラニー、ペニング(電離真空計)

主なオプション

記録計、ガス制御ユニット、試料台、その他

型式表

型式	炉　内　寸　法	有　効　寸　法	標準試料台
RSA1800-030ST	φ 50 × 70H	φ 30 × 50H	φ35
RSA1800-050ST	φ 80 × 100H	φ 50 × 70H	φ60
RSA1800-100ST	φ140 × 150H	φ100 × 100H	φ110
RSA1800-150ST	φ200 × 200H	φ150 × 150H	φ160

外観イメージ及び内部構造

RSA1800-050STタイプ

型式別仕様書(PDFファイル)を用意しました。お気軽にお問い合わせください。

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